中化新網(wǎng)訊 5月27日，由北京化工大學(xué)等單位共同完成的超純凈電子化學(xué)品高效、綠色制造技術(shù)項(xiàng)目，在北京通過了由中國石油和化學(xué)工業(yè)聯(lián)合會(huì)組織的成果鑒定。由中國科學(xué)院院士、清華大學(xué)教授費(fèi)維揚(yáng)，中國化工學(xué)會(huì)教授級(jí)高工王玉慶等7位專家組成的鑒定委員會(huì)一致認(rèn)為，項(xiàng)目團(tuán)隊(duì)發(fā)明了超純凈電子化學(xué)品高效提純系列技術(shù)與裝備，實(shí)現(xiàn)了裝備的自主生產(chǎn)和成功應(yīng)用，其核心技術(shù)處于國際領(lǐng)先水平。

根據(jù)鑒定意見，項(xiàng)目組發(fā)明了新型結(jié)構(gòu)高效分離填料，分離效率優(yōu)于國際同類先進(jìn)水平，制備的超純凈芯片用電子化學(xué)品產(chǎn)品指標(biāo)達(dá)到或優(yōu)于國際同類產(chǎn)品；發(fā)明了適用于高效脫除金雜和固體顆粒物的高效絲網(wǎng)除霧器，壓降低、除霧效率高；發(fā)明了精餾與結(jié)晶等有機(jī)結(jié)合的協(xié)同高效提純新工藝，顯著提高了產(chǎn)品純度、降低了能耗與成本。

同時(shí)，上述系列技術(shù)均具有完全自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)，并已獲得廣泛的工業(yè)化應(yīng)用，成功用于生產(chǎn)新一代硅基材料、系列化濕電子化學(xué)品、電子特氣等，近3年來取得了顯著的經(jīng)濟(jì)效益和社會(huì)效益。其中，所產(chǎn)純度達(dá)99.9999%的乙硅烷，質(zhì)量和能耗優(yōu)于國際先進(jìn)水平，產(chǎn)品已穩(wěn)定供應(yīng)芯片公司；所產(chǎn)電子級(jí)鹽酸等系列濕電子化學(xué)品，金屬雜質(zhì)鈣、鎂、鐵含量小于5ppt，質(zhì)量優(yōu)于國際同類產(chǎn)品；所產(chǎn)電子特氣、芯片稀土元素等，也均實(shí)現(xiàn)質(zhì)量和能耗先進(jìn)。

鑒定會(huì)上，專家組對(duì)項(xiàng)目成果的自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)和優(yōu)異的工業(yè)化應(yīng)用成績尤為肯定。王玉慶稱贊該成果“是一個(gè)思路上的創(chuàng)新”。他表示，目前在經(jīng)典分離領(lǐng)域的創(chuàng)新越來越難，項(xiàng)目成果的取得實(shí)屬不易。該項(xiàng)目帶頭人北京化工大學(xué)傳質(zhì)與分離工程研究中心主任李群生告訴中國化工報(bào)記者，該項(xiàng)目已獲得國內(nèi)發(fā)明專利授權(quán)58件、國際專利授權(quán)3件。

鑒定專家組成員、中國海洋石油集團(tuán)公司高級(jí)工程師李斌認(rèn)為，項(xiàng)目成果有更廣闊的推廣應(yīng)用空間。與會(huì)的多家行業(yè)領(lǐng)軍企業(yè)代表也表示出進(jìn)一步合作意向。據(jù)李群生介紹，項(xiàng)目成果已在全國數(shù)十家企業(yè)應(yīng)用，取得了顯著的社會(huì)效益、經(jīng)濟(jì)效益和生態(tài)環(huán)境效益。

電子化學(xué)品廣泛應(yīng)用于集成電路、人工智能、電子信息、航空航天等領(lǐng)域。目前我國約90%高端電子化學(xué)品需求依賴進(jìn)口，相關(guān)生產(chǎn)、提純技術(shù)難度極大，是亟待解決的產(chǎn)業(yè)難題。針對(duì)國家戰(zhàn)略需求，由李群生領(lǐng)銜的科研團(tuán)隊(duì)面壁十年終破壁，取得了重大突破。（李東周）